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上海硅酸盐所在(Ba,Sr)TiO3薄膜高频微波性能研究中

  上海硅酸盐沉积(Ba,Sr)TiO3薄膜高频微波性能研究新进展

  钛酸钡锶(Ba,Sr)TiO3,简称BST)是一种非常重要的功能材料,它具有介电常数高,介电损耗低,可调谐性高,居里温度连续可调等特点,随动态随机存取内存,非制冷红外探测器和可调微波器件等应用的首选材料之一。近日,由中国科学院上海硅酸盐研究所研究员董先林教授和法国微电子与纳米技术研究所(IEMN)教授丹尼斯研究小组主持的高频研究小组微波性能的BST60 / 40薄膜新进展。通过设计一个非化学计量目标,采用原位沉积工艺控制溅射气氛中的O2 /(Ar + O2)比值,首先在Pt / Si衬底上制作无缓冲层BST(001),BST (111)具有100%取向的织构化膜。他们还引入了损耗非常低(0.005)的BZN / BST薄膜,可调高达50%(@ 400kV / cm)的BZN / BST复合薄膜,介电损耗仅为0.01,良好因子为46.8BST铁电薄膜难以兼顾高可调性和低介电损耗的问题。为了研究BST薄膜的高频微波性能,将纳米TiOx引入Al2O3(0001)衬底作为籽晶层,制备了高度(111)取向的外延BST薄膜。结果表明:BST薄膜的复介电常数符合居里 - 沙伊德勒法则。在高达40GHz的频率和仅300kV / cm的电场下,外延BST(111)薄膜的可调性高达41%,是多晶BST薄膜的1.4倍,预计将用于高频微波领域设备。 PhysOrg新闻网站以“未来的芯片,小也必须更好”为主题的研究报告进展。最近在Appl。上发表了一系列相关的研究。物理学。快报。 J.Biol.Chem.97,162909(2010),J.Am。 CERAM。 SOC。 (2010),J.Am。 CERAM。 SOC。 J.Am.Chem.Soc.93,1215 2010,J.Am。 CERAM。 SOC。 93,2136(2010)和J.Am.Chem.Soc。 CERAM。 SOC。 93,2526(2010)两个研究小组从2005年的联合研究到目前为止,已经有两个博士后,博士生联合培养3人,其中一人获得双博士学位。上述研究由国家重点基础研究发展计划(项目6163Z09.1),上海青年科技金星项目(09QH1402400)和中国科学院“百人计划”资助。相关链接:http://nanotechwire.com/news.asp?nid=10696
http://www.physorg.com/news205490400.html
http://link.aip.org/link/? BST薄膜XRD图谱获得APL / 97/162909
不同氧分压BZN / BST复合材料及其优点BZN的膜厚可调值的可调值
高频介电性能的氧化铝衬底和波导传输线BST薄膜和多晶外延BST薄膜的横截面 -

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